由于跟非晶硅面板制程兼容，非晶氧化物InGaZnO（IGZO）自從在實驗室被發(fā)現(xiàn)后，很快進(jìn)入了顯示驅(qū)動工業(yè)應(yīng)用，如AMLCD、AMOLED、LTPO 面板驅(qū)動。以IGZO 為代表的非晶氧化物薄膜晶體管（TFT）在較高的遷移率 （10 cm2/Vs 左右）、低溫大面積制程（可至G8面板以上）、低的關(guān)態(tài)電流（約比低溫多晶硅TFT低1000倍）等方面具有獨特的優(yōu)勢。然而，伴隨著顯示技術(shù)的快速發(fā)展，現(xiàn)有顯示驅(qū)動無法匹配新型高品質(zhì)顯示的迫切需求。具體而言，伴隨著顯示面板大面積化（＞75 Inch）、超高清化（8K）和高幀頻（240 Hz）的發(fā)展趨勢及未來Micro-LED等高性能顯示的涌現(xiàn)，客觀上要求TFT器件在保持較低關(guān)態(tài)電流這一優(yōu)勢的同時，器件場效應(yīng)遷移率要大于40 cm2/Vs，并兼具較好的性能穩(wěn)定性。

　　鑒于此，中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所功能薄膜與智構(gòu)器件團(tuán)隊的梁凌燕、曹鴻濤研究員基于InSnZnO（ITZO）半導(dǎo)體材料，圍繞靶材-薄膜-工藝-器件研究鏈條開展科研攻關(guān)，闡明了靶材質(zhì)量、源漏電極工藝、稀土摻雜及金屬誘導(dǎo)工藝等對ITZO-TFT性能的影響規(guī)律，為后續(xù)實現(xiàn)高遷、高穩(wěn)的TFT器件打下了堅實基礎(chǔ)。系列工作發(fā)表在IEEE EDL. 42, 529-532（2021）、Appl. Phys. Lett. 119, 212102 （2021）、IEEE TED. 69, 152-155 （2022）、ACS Appl. Electron. Mater. 2023, 10.1021/acsaelm.2c01673。

　　近期，該團(tuán)隊攜手中山大學(xué)的劉川教授和相關(guān)企業(yè)提出了高電子遷移率輸運層和光電子弛豫層的疊層設(shè)計，將遷移率和穩(wěn)定性的關(guān)聯(lián)/矛盾關(guān)系進(jìn)行了解耦，器件遷移率和穩(wěn)定性（特別是光照和偏壓穩(wěn)定性）分別與輸運層和弛豫層各自的物性及厚度相關(guān)聯(lián)，由此實現(xiàn)了高遷移率（＞40 cm2V-1s-1，歸一化飽和輸出電流225 μA）和高穩(wěn)定性（NBIS/PBTS △Vth = -1.64/0.76 V），器件性能水平極具競爭力，解決了目前氧化物TFTs普遍存在的輸運和穩(wěn)定性難以兼顧的難題。根據(jù)氧化物半導(dǎo)體輸運的滲流理論以及經(jīng)典的載流子擴散機制對實驗結(jié)果進(jìn)行了模擬，理論預(yù)測跟實驗結(jié)果相吻合，驗證了本設(shè)計的有效性和可行性。此外，器件的輸運層和弛豫層厚度均超過20 nm，容易實現(xiàn)大面積均勻性，具有很好的工業(yè)導(dǎo)入前景。研究結(jié)果發(fā)表在Adv. Sci. 2023, 2300373. 10.1002/advs.202300373。

　　上述工作得到了國家重點研發(fā)計劃（2021YFB3600701）、國家自然科學(xué)基金（62274167）、中科院重點部署（ZDRW-XX-2022-2）等項目的支持。

TFT應(yīng)用中的木桶效應(yīng)以及電子輸運/光電子弛豫疊層設(shè)計解決策略與成效